 14. Metal-2的淀积及Metal-2的光刻、刻蚀、去胶： （1）Metal-2淀积：  （2）Metal-2光刻刻蚀    15. 钝化层淀积及钝化层光刻、刻蚀、去胶：敦化刻蚀后一般要做一步alloy。    对于高级一点的工艺，可能会有更多层的metal，做法类似，继续Via和Metal的堆叠即可。 |
14. Metal-2的淀积及Metal-2的光刻、刻蚀、去胶： （1）Metal-2淀积： （2）Metal-2光刻刻蚀 15. 钝化层淀积及钝化层光刻、刻蚀、去胶：敦化刻蚀后一般要做一步alloy。 对于高级一点的工艺，可能会有更多层的metal，做法类似，继续Via和Metal的堆叠即可。 |
