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基本功率集成电路工艺详解

时间:2023-01-12 10:48来源:半导体材料与工艺作者:ictest8_adit 点击: 次

主要内容
功率集成电路兼容工艺概况
PIC的隔离技术
PIC功率器件PN结的终端技术
主流工艺Bipolar-CMOS-DMOS技术
SPIC工艺例子
HV-IC工艺例子

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