4. Nwell光刻、注入:光刻前都有一层pad oxide,这里也没有画。 Nwell注入:一般要注一个阱,一个防传统注入,一个VT调节注入,三次注入分别对应深,中,浅,注入玩去胶,准备做Pwell注入; 5. Pwell光刻、注入:方式与Nwell类似,注入改为B注入,然后去胶,去胶后要将Nwell和Pwell一起推进,使两者有一定的结深和浓度梯度; 6. Gate栅的形成:腐蚀掉表现氧化层,再长一层牺牲氧化层,然后再腐蚀掉牺牲氧化层; |
4. Nwell光刻、注入:光刻前都有一层pad oxide,这里也没有画。 Nwell注入:一般要注一个阱,一个防传统注入,一个VT调节注入,三次注入分别对应深,中,浅,注入玩去胶,准备做Pwell注入; 5. Pwell光刻、注入:方式与Nwell类似,注入改为B注入,然后去胶,去胶后要将Nwell和Pwell一起推进,使两者有一定的结深和浓度梯度; 6. Gate栅的形成:腐蚀掉表现氧化层,再长一层牺牲氧化层,然后再腐蚀掉牺牲氧化层; |