 本文讲解了半导体的一些基本概念和晶体管的制造工艺方面的原理，非常适合初入微电子行业的新人学习之用，可以说是半导体行业入门的通用教材，其实对于半导体行业，基础知识非常重要，基础知识的扎实与否，将直接影响到将来的发展，请新人自勉。 目录 第一章半导体的基础知识 1-1半导体的一些基本概念 1-1-1什么是半导体？……………………………………………………4 1-1-2 半导体的基本特性………………………………………………4 1-1-3 半导体的分类……………………………………………………4 1-1-4N型半导体和P型半导体……………………………………….5 1-1-5半导体的导电机构……………………………………………….6 1-2P-N结………………………………………………………………………9 1-2-1P-N结的构成…………………………………………………….9 1-2-2P-N结内的载流子运动和平衡…………………………………10 1-2-3P-N结的基本特性………………………………………………10 1-3二极管………………………………………………………………12 1-3-1 二极管的基本构成………………………………………………12 1-3-2二极管的特性曲线（伏安特性）…………………………….12 1-3-3二极管的分类……………………………………………………13 1-4晶体管（仅讲双极型）……………………………………………13 1-4-1晶体管的构成…………………………………………………….13 1-4-2晶体管的放大原理……………………………………………….15 1-4-3晶体管的特性曲线……………………………………………….18 1-4-4晶体管的分类……………………………………………………21 1-4-5晶体管的主要电参数……………………………………………21 第二章晶体管制造工艺与原理 2-1 典型产品工艺流程…………………………………………………24 2-1-1 晶体管的基本工艺流程…………………………………………24 2-1-2 典型产品的工艺流程……………………………………………24 2-2 晶体管制造主要工艺的作用与原理…………………………………25 2-2-1 氧化工艺…………………………………………………………25 2-2-2 扩散工艺…………………………………………………………26 2-2-3 离子注入工艺……………………………………………………..30 2-2-4 光刻工艺…………………………………………………………..31 2-2-5 蒸发（真空镀膜）工艺…………………………………………..32 2-2-6 CVD工艺…………………………………………………………..33 2-2-7 台面工艺…………………………………………………………..34 2-2-8 三扩、磨抛工艺…………………………………………………..35 2-2-9 清洗工艺…………………………………………………………..36 2-2-10 中测、划片工艺…………………………………………………36 2-3常见的工艺质量问题以及对产品质量的影响………………………….37 2-3-1 工艺质量问题分类…………………………………………………37 2-3-2 常见的工艺质量问题举例…………………………………………37 2-4工艺纪律和工艺卫生的重要性………………………………………….41 2-4-1 半导体生产对空气洁净度的要求…………………………………41 2-4-2工艺卫生的内涵…………………………………………………..42 2-4-3工艺卫生好坏对半导体生产的影响……………………………..42 2-4-4工艺纪律的内涵…………………………………………………..43 2-4-5工艺纪律的重要性………………………………………………..43 第一章半导体基础知识
1-1-1 什么是半导体？ 导电能力介于导体和绝缘体之间的物质，叫做半导体。 物质的导电能力一般用电阻率ρ来表示。电阻率是指长1cm ，截面积为1平方厘米的物质的电阻值，单位是欧姆·厘米（符号是Ω-cm）。 电阻率越小，说明物质的导电性能越好；反之，电阻率越大，说明物质的导电性能越差。 物质种类 导体 半导体 绝缘体 电阻率 （Ω-cm） ≤10-4 10-3~108 ≥109 |
