欢迎光临专业集成电路测试网~~欢迎加入IC测试QQ群:111938408

专业IC测试网

当前位置: 网站主页 > 相关技术 >

半导体测试板(ATE)的分类及PCB加工要求

时间:2024-08-29 21:53来源: sunshinepcb.com 作者:ictest8_edit 点击:

 

01.什么是半导体测试板(ATE)?

SUNSHINE GLOBAL CIRCUITS

ATE,全称Automated Test Equipment,是晶圆和芯片封装之后,进行功能和性能自动化测试的设备。ATE设备可以进行芯片的参数测试、功能测试、性能测试、故障检测、可靠性测试等,在半导体的制造过程中扮演着至关重要的角色。

 
芯片的生产流程用到的ATE PCB
 
如上图,不同类型的ATE测试机需要不同的ATE板。
 
探针卡(Probe Card):探针卡用于测试未切割和未封装的半导体器件,通过对晶圆上的每个芯片进行电气测试,筛选出参数在要求范围内的器件进行封装。
 
负载板(Load Board):在Final Test测试设备上面需要用到负载板,负载板用于在器件封装后对器件进行功能或性能测试,筛选出封装后的不良器件。对于有高速接口的IC来讲,对应的负载板通常会有严格的阻抗要求。
 
老化测试板(Burn-in Board,简称BIB):老化板(BIB)用于封装后芯片的老化测试,如热循环或加速开关循环,以暴露器件的早期失效故障。老化板的PCB材料必须能够承受长时间和反复的高温环境暴露,具有极高的可靠性。 
 
 
ATE板的类型
 
02.ATE板的PCB加工的要求

SUNSHINE GLOBAL CIRCUITS

随着集成电路(IC)变得更小更复杂,ATE测试板的密度和复杂性也随之增加。
 
对准精度和高纵横比
Load Board的层数通常在30层以上,BGA pitch 通常在0.35到0.5mm,钻孔到导体距离低于4mil,并行测试通道:4 sites、8 sites,到16 sites。对于PCB的层间对准、钻孔精度、高厚径比下的镀铜和树脂塞孔工艺都提出了更高的要求。
 
超高密度测试接口
Probe Card上BGA的pitch通常在85~200um之间,高端的产品会在40~55um之间。精细线路接近封装基板,如果线路超出PCB制程能力时,就需要使用封装基板工艺的MLO/MLC转接板,转接之后进行测试。

 
转接板示意图
 
平整度
探针卡和高端ATE的PCB对平整度有很高的要求,翘曲率应控制在0.1%~0.2%以内。BGA区域的焊盘高度差应保持在50um(2mil)以内,更严格时要求范围保持在25~28um(1mil)以内。
 
外观质量
由于待测单元(DUT)区域通过探针与焊盘建立连接,因此对要求焊盘不能有凹陷或损坏,焊盘金面也不能有划痕或粗糙度问题。

 

DUT Pad 平整度要求
 
信号完整性
高端ATE板要求指出阻抗公差为±5%,并且残桩stub长度在8到12mil以下,由于阻抗要求严格,对于镀层、蚀刻均匀性和背钻工艺能力要求都十分严格。
 
明阳电路ATE专精产品线
明阳电路在复杂ATE板制造方面拥有丰富的经验,例如高厚径比钻孔、脉冲镀孔、DUT Pad和PCB的高平整度控制、<.002”的层间对准精度、ENCAP工艺和通孔键合技术。此外明阳电路拥有先进的PCB技术实验室,可以进行新材料的验证和可靠性测试。
 
围绕ATE板批量很小,但需要快速交付的特点,明阳电路建立了一套高效的交付流程。在制造前的DFM沟通、工程制作、物料准备,制造过程中专线生产和订单发货后的售后服务,充分满足芯片研发设计的周期需要。
 
03.明阳电路ATE系列板介绍

SUNSHINE GLOBAL CIRCUITS

52层ATE探针卡 Probe Card

 

材料 HTG FR4
板厚 6.35mm
最小线宽/线距 4/10mil
最小孔径 0.5mm
表面处理 电薄金+选择性电厚金
 
38层 ATE Load Board

 

材料 HTG FR4
板厚 5.08mm
尺寸 403*403mm
最小线宽/线距 2.5/4mil
纵横比 39:1
BGA Pitch 0.4mm
表面处理 电薄金+选择性电厚金
特殊点 Via in Pad(VIPPO)
 
20层ATE BIB板

 

材料 HTG FR4
板厚 2.225mm
尺寸 612*564mm
最小线宽 2mil
最小孔径 0.13mm
孔到线距离 3.5mil
BGA Pitch 0.35mm
表面处理 电薄金+选择性电厚金
特殊点 金手指
 
顶一下
(0)
0%
踩一下
(0)
0%
------分隔线----------------------------
发表评论
请自觉遵守互联网相关的政策法规,严禁发布色情、暴力、反动的言论。
评价:
用户名: 验证码: 点击我更换图片