 CP测试系统可以类比为一个精密的医设备，用于检查晶圆上的芯片是否健康，确保它们在最后加工成成品之前符合规格。这个测试系统主要由以下几个核心部分组成： 测试机（ATE）：就像医生的诊断仪器，通过一系列标准化的测试程序来检测芯片的各项性能指标。它的主要组成包括： 测试机头：好比医生的听诊器，与芯片直接接触，执行具体的测试任务。 测试程序：这一程序就像医生的诊断步骤，由工作站从服务器下载后在本地执行。 探针台（Prober）：相当于护士或助手，负责将晶圆定位准确，以便测试机能进行精确检测。探针台通过操作将探针卡上的探针准确对准晶圆上的测试焊盘，确保信号顺利传递。 探针卡（Probe Card）：可视为连接医生（测试机）与病人（晶圆）的管道，它上面的探针接触晶圆上的测试焊盘，把电信号传递至芯片。探针通常由优质导电材料制成，以确保信号传输的有效性。 针测接口板和针塔：这两者结合形成一个完整的信号回路，让电信号从ATE传输到探针，再到晶圆。就像医生使用的导线和附属设备，确保整个检测过程的电信顺畅。 晶圆卡盘（Chuck）：它固定晶圆位置，仿佛是给病人检查时的躺椅，稳固且精确地保持晶圆在正确的位置以利于测试机进行有效诊断。 在这个系统中，所有部分都紧密地协作，就像一个完整的体检过程，确保每颗芯片都通过严格的测试程序，为下游的生产工序提供高质量的“健康”芯片。通过这样的系统性测试，工厂能大幅度降低生产缺陷，保证产品质量。 |
