 一、HTOL（高温寿命试验） 1. 定义与目的 HTOL（High Temperature Operating Life Test）即高温寿命试验，是一种通过加速热激活失效机制来确定产品可靠性的测试方法。该测试在模拟高温工作环境下进行，旨在评估器件在超热和超电压条件下的耐久力。 2. 测试标准 HTOL测试通常遵循以下标准： JESD22-A108B：Temperature, Bias, and Operating Life，详细规定了高温操作寿命测试的条件和流程。 MIL-STD-883 方法 1005.8：美军标中关于高温寿命测试的具体要求。 EIAJ-ED4701-D323：电子工业协会标准，也包含了高温寿命测试的相关内容。 3. 测试条件 温度：通常高于产品的正常使用温度，如125℃或更高。 电压：一般为最大工作电压（Vcc max）或稍高于此值。 时间：老化时间通常为1000小时，中间会在168小时和500小时进行功能回测。 4. 失效模式 HTOL测试主要关注器件在高温环境下的失效模式，这些模式包括但不限于： 电子迁移：高温下电子在金属导体中的迁移导致失效。 氧化层破裂：高温加速氧化层的退化，最终导致失效。 相互扩散：不同材料在高温下的相互扩散引起性能下降。 不稳定性：高温导致的器件性能波动和不稳定。 典型浴缸曲线(Bathtub Curve)分成早夭期(Infant Mortality)、可使用期(Useful Life)及老化期(Wear out)，对于不同区段的故障率评估，皆有相对应的试验手法。 从浴缸曲线(Bathtub Curve) 三个区段，其故障率的统计数据及失效原因，归纳如下： 早夭期(Infant Mortality )：故障率由高而快速下降- 失效原因为设计缺失/制程缺失。 可使用期(Useful Life)：故障率低且稳定-失效原因随机出现(如EOS 故障) 老化期(Wear Out)：故障率会快速增加-失效原因为老化造成。 二、LTOL（低温寿命试验） 1. 定义与目的 LTOL（Low Temperature Operating Life Test）即低温寿命试验，主要目的是评估器件在低温环境下的耐久力和热载流子退化情况。由于热载流子在低温下的注入效应更加明显，因此LTOL测试对于某些特定类型的器件（如存储器件或亚微米尺寸的器件）尤为重要。 2. 测试标准 LTOL测试通常遵循以下标准： JESD22-A108：虽然与HTOL共用同一标准，但测试条件有所不同，特别是温度方面。 其他标准：根据用户实际需求和测试设计，还可能参考其他标准或自定义测试条件。 3. 测试条件 温度：结温（Tj）通常不超过50℃，但实际测试温度可能更低，如-55℃至0℃区间。 电压：一般为最大工作电压（Vcc max）或更高。 时间：老化时间通常为1000小时。 4. 失效模式 LTOL测试主要关注器件在低温环境下的失效模式，特别是与热载流子退化相关的失效模式。这些模式包括但不限于： 热载流子注入效应：低温下热载流子注入效应加剧，导致器件性能退化。 材料脆化：低温可能导致某些材料变脆，增加机械损伤的风险。 界面失效：不同材料在低温下的热膨胀系数差异可能导致界面失效。 失效模式: 热载流子注入：与HTOL相反，在低温下热载流子效应更加明显，导致氧化层损伤。 低温脆性：低温可能导致材料变得脆性，增加封装或连接点的断裂风险。 电荷捕获：低温条件下，电荷在半导体中的捕获和释放行为改变，影响器件的稳定性。 电介质击穿：低温可能加速某些类型的电介质材料的老化，导致击穿。 HTOL与LTOL测试都是为了加速集成电路在极端温度条件下的老化过程，从而快速识别潜在的失效模式。这些测试有助于制造商在产品投入市场前进行必要的设计优化和质量控制。不同的标准提供了执行这些测试的具体指导，包括温度设定、测试持续时间、电压和电流条件等。了解和遵循这些标准可以帮助确保测试的有效性和可重复性。 |
