Perface集成电路芯片的测试(ICtest)分类包括: • 晶圆测试(wafertest)、 • 芯片测试(chiptest) • 封装测试(packagetest) wafertest是在晶圆从晶圆厂生产出来后,切割减薄之前的测试。 其设备通常是测试厂商自行开发制造或定制的,一般是将晶圆放在测试平台上,用探针探到芯片中事先确定的测试点,探针上可以通过直流电流和交流信号,可以对其进行各种电气参数测试。 对于光学IC,还需要对其进行给定光照条件下的电气性能测试。 晶圆测试 主要设备:探针平台,辅助设备:无尘室及其全套设备。 |













