“ATE测试有时候会遇到某些产品的Trim需要多道测试(比如CP1/CP2, FT1/FT2等等)获取数据后,才能通过计算进行烧写EFuse的情况。今天分享一些与之相关的项目经验供大家参考。”【多道ATE Trim优选方案】 多道ATE Trim的首选实施方案,是将各道测试获取的全部Trim参数实时烧录至每颗DUT的片内非易失性存储器(NVM)。该方案支持直接从器件读取历史Trim数据,便于执行补偿计算及迭代修调。 o 方案必备条件 .所采用的NVM必须满足测试环境(含极端温度条件)下的可靠烧录 .所有Trim所需的关键参数必须完整存储于DUT内部NVM .备选方案备选方案 o 备选方案 . 鉴于部分晶圆厂工艺无法支持全温域NVM烧录,而多温度点Trim又是常见需求(尤其超出NVM认证编程条件时),可采用以下替代方案: o 文件存储方案 .当遇到NVM不可编程的温度点时,最可靠的临时数据存储方案是将Trim数据写入文件系统,待后续调用。 o 文件存储要求 .所有ATE测试机必须具有读写共享存储空间的权限 .必须建立器件唯一标识体系(强烈建议采用"批次号+晶圆号+X/Y坐标"的组合方案) .建议在DUT的NVM中预留存储空间,用于保存构建唯一标识的关键字段 【ATE文件存储实施方案】 o 目录架构规范 .一级目录:按芯片型号(Die Type)创建主目录 .二级目录:在型号目录下按批次号(Lot Number)建立子目录 .三级目录:在批次目录下按编程工位(Insertion)创建最终存储目录 .实例说明(基于测试供应商提供的共享存储空间"atedata"):典型目录结构示例: ./atedata/dev00/fw123456/cp_hot1/ (热测试工位) ./atedata/dev00/qr098765/ft_cold1/ (冷测试工位) o 数据写入规范 .每个DUT测试完成后,将数据写入对应测试工位目录 .严格遵循"单器件单文件"原则(1 DUT = 1 Data File) o 关键实施要求 .目录命名必须采用小写字母+数字的标准化格式 . 测试工位目录需明确标识测试条件(如cp_hot1表示初测高温工位) .文件命名应包含完整的DUT追溯信息(建议集成lot/wafer/坐标等字段) 【DUT单文件 vs 晶圆/工位单文件存储方案分析】方案1:每个DUT存储一个独立文件✅ 优势o 数据实时写入:测试过程中即时存储,避免因软件崩溃或断电导致数据丢失。 o 数据完整性高:每个DUT的数据独立存储,减少批量写入失败的风险。 ❌ 劣势 o 文件I/O可能影响测试时间:如果无法在机械手 (handler) 移动(indexing)期间完成写入,可能导致测试时间增加(部分测试机难以优化)。 o 数据完整性验证困难:在需要调用历史Trim数据的工位(如多温度点测试),无法预先确保所有DUT的Trim文件均存在,若文件缺失将导致测试失败。 o 复测(Rescreen)策略复杂: .必须明确复测数据是否覆盖初测数据(建议强制覆盖)。 .ATE需能识别复测场景,或每次测试均需检索文件(增加额外逻辑)。 方案2:每个晶圆/工位存储一个文件✅ 优势 o 数据预加载可行性:在晶圆测试开始时即可检查历史数据完整性,减少因数据缺失导致的良率损失。 o 优化测试时间:数据可批量读取/写入(如测试前加载、测试后存储),减少实时I/O开销。 ❌ 劣势 o 批量写入风险:若文件在晶圆测试结束时才写入,软件/电源故障可能导致整片晶圆数据丢失。 o 断点续测挑战: . 需支持文件追加(Append)模式,以处理晶圆测试中途暂停后恢复的场景。 . 需检测文件是否存在,以区分复测(Rescreen)或续测(Continuation)。 |