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ATE唠唠嗑No.9——多道ATE测试的Trim方案

时间:2025-07-01 22:13来源:FreyaW 半导体ATE测试 作者:ictest8_edit 点击:

 

“ATE测试有时候会遇到某些产品的Trim需要多道测试(比如CP1/CP2, FT1/FT2等等)获取数据后,才能通过计算进行烧写EFuse的情况。今天分享一些与之相关的项目经验供大家参考。”

【多道ATE Trim优选方案】

多道ATE Trim的首选实施方案,是将各道测试获取的全部Trim参数实时烧录至每颗DUT的片内非易失性存储器(NVM)。该方案支持直接从器件读取历史Trim数据,便于执行补偿计算及迭代修调。

o 方案必备条件

.所采用的NVM必须满足测试环境(含极端温度条件)下的可靠烧录
.所有Trim所需的关键参数必须完整存储于DUT内部NVM
.备选方案备选方案

o 备选方案

. 鉴于部分晶圆厂工艺无法支持全温域NVM烧录,而多温度点Trim又是常见需求(尤其超出NVM认证编程条件时),可采用以下替代方案:

o 文件存储方案
.当遇到NVM不可编程的温度点时,最可靠的临时数据存储方案是将Trim数据写入文件系统,待后续调用。

o 文件存储要求
.所有ATE测试机必须具有读写共享存储空间的权限
.必须建立器件唯一标识体系(强烈建议采用"批次号+晶圆号+X/Y坐标"的组合方案)
.建议在DUT的NVM中预留存储空间,用于保存构建唯一标识的关键字段

 
【ATE文件存储实施方案】

o 目录架构规范

.一级目录:按芯片型号(Die Type)创建主目录
.二级目录:在型号目录下按批次号(Lot Number)建立子目录
.三级目录:在批次目录下按编程工位(Insertion)创建最终存储目录
.实例说明(基于测试供应商提供的共享存储空间"atedata"):典型目录结构示例:
./atedata/dev00/fw123456/cp_hot1/ (热测试工位)
./atedata/dev00/qr098765/ft_cold1/ (冷测试工位)
 
o 数据写入规范
.每个DUT测试完成后,将数据写入对应测试工位目录
.严格遵循"单器件单文件"原则(1 DUT = 1 Data File)

o 关键实施要求
.目录命名必须采用小写字母+数字的标准化格式
. 测试工位目录需明确标识测试条件(如cp_hot1表示初测高温工位)
.文件命名应包含完整的DUT追溯信息(建议集成lot/wafer/坐标等字段)

 

DUT单文件 vs 晶圆/工位单文件存储方案分析

 

方案1:每个DUT存储一个独立文件

✅ 优势
数据实时写入:测试过程中即时存储,避免因软件崩溃或断电导致数据丢失。
数据完整性高:每个DUT的数据独立存储,减少批量写入失败的风险。

❌ 劣势
文件I/O可能影响测试时间:如果无法在机械手 (handler) 移动(indexing)期间完成写入,可能导致测试时间增加(部分测试机难以优化)。
数据完整性验证困难:在需要调用历史Trim数据的工位(如多温度点测试),无法预先确保所有DUT的Trim文件均存在,若文件缺失将导致测试失败。
复测(Rescreen)策略复杂
.必须明确复测数据是否覆盖初测数据(建议强制覆盖)。
.ATE需能识别复测场景,或每次测试均需检索文件(增加额外逻辑)。
 

方案2:每个晶圆/工位存储一个文件


✅ 优势
数据预加载可行性:在晶圆测试开始时即可检查历史数据完整性,减少因数据缺失导致的良率损失。
优化测试时间:数据可批量读取/写入(如测试前加载、测试后存储),减少实时I/O开销。

 
❌ 劣势
批量写入风险:若文件在晶圆测试结束时才写入,软件/电源故障可能导致整片晶圆数据丢失。
断点续测挑战
. 需支持文件追加(Append)模式,以处理晶圆测试中途暂停后恢复的场景。
. 需检测文件是否存在,以区分复测(Rescreen)或续测(Continuation)。


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