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半导体基础知识与晶体管工艺原理之一(2)

时间:2010-08-14 08:55来源:www.ictest8.com 作者:ictest8 点击:

1-1-2 半导体的基本特性

1 热敏特性——随着温度的升高,半导体的电阻率减小,导电能力明显的增强。

2 光敏特性——受到光线照射后,半导体的电阻率减小,导电能力大大增强。

3 杂质导电特性——在纯净的半导体中,加入微量的某些其它元素(通常,称之为“掺杂”),可以使它的导电能力成百万倍的提高。这是半导体的一个最突出的也是最重要的特性。人们正是利用半导体的这些特性,制成了二极管、晶体管、热敏器件、光敏器件等。也正是由于半导体的这种特性,在制造半导体器件的过程中,对工作环境的要求特别严格,以防有害杂质进入半导体而破坏器件的参数。

必须指出,以上特性只有纯净的半导体才具备。所谓纯净的半导体是指纯度在9个“9”以上,即99.9999999%以上。

1-1-3 半导体的分类

1 按化学成分——元素半导体和化合物半导体

2 按是否含有杂质——本征半导体和杂质半导体

3 按导电类型——N型半导体和P型半导体

4 按原子排列的情况——单晶和多晶

1-1-4N型半导体和P型半导体

1“载流子”——半导体中的导电粒子(运载电流的粒子):电子和空穴。

2“杂质”的概念——三、五族元素杂质(元素周期表中,三族:硼、铝、镓;五族:磷、砷、锑)——受主杂质和施主杂质。

3 施主杂质和受主杂质

有一类杂质(比如五族元素磷),它在掺入半导体中后,会产生许多带负电的电子,这种杂质叫“施主杂质”。(施放电子)

又有一类杂质(比如三族元素硼),它在掺入半导体中后,会产生许多带正电的空穴,这种杂质叫“受主杂质”。(接受电子)

4N型半导体和P型半导体

掺有施主杂质的半导体,其导电作用主要依靠由施主杂质产生的导电电子,我们称这种半导体为“N型半导体”(也叫“电子型半导体”)。

掺有受主杂质的半导体,其导电作用主要依靠由受主杂质产生的导电空穴,我们称这种半导体为“P型半导体”(也叫“空穴型半导体”)。

5 多子与少子

1)在本征半导体中,载流子靠本征激发产生,而且电子数=空穴数=本征载流子浓度。即,no=po=ni

2)在杂质半导体中,载流子主要靠杂质电离而产生,此时,杂质电离产生的载流子浓度远大于本征激发产生的载流子浓度。因此,在杂质半导体中,电子数≠空穴数。其中,

在N型半导体中:电子是多子,空穴是少子。而在P型半导体中:空穴是多子,电子是少子。

3)N型半导体和P型半导体的示意图(图1)



因为在P型半导体中的绝大多数载流子是空穴,电子数很少,因此在画P型半导体的示意图时,只画出带正电荷的空穴;反之,在N型半导体的示意图中,只画出带负电荷的电子。

图1N型半导体和P型半导体

1-1-5半导体的导电机构——载流子的产生、运动和复合

——回答半导体是怎么导电的?

1 “载流子”是怎么产生的?

A本征激发——产生电子、空穴对——本征载流子浓度(ni)

  • 半导体材料硅的晶格结构——“共价键”结构
因为,从原子结构理论知道,每个硅原子的最外层有4个价电子和4个空位,因此,在构成硅晶体时,每个原子周围都有4个最靠近的原子做它的邻居,每个原子拿出一个价电子和它的一个邻居共用。同样,每个邻居也拿出一个价电子和它共用。这一对共用的价电子使两个硅原子之间产生了一种束缚力,就叫做“共价键”。这样,每个原子就要和周围4个原子构成4个“共价键”。为了简化起见,我们把本来是立体的“共价键”结构画成平面示意图。(图2)

图2 硅“共价键”晶格结构平面示意图

2)在价电子获得一定的能量(硅Eg=1.1ev)时,就能冲破束缚(称为“激发”),成为导电的自由电子(带负电)。与此同时,在“共价键”中留下一个空位,我们叫它“空穴”(带正电,也能导电)。这种同时产生的电子和空穴,称为“电子、空穴对”。我们称这种引起的价电子激发——产生导电的电子、空穴对的过程,为“本征激发”。

3)本征激发产生的载流子浓度,称为本征载流子浓度(ni)。在常温下,ni是个较小的常数;随着温度的升高,ni就很快增大。(它以指数形式上升)——这就是为什么本征半导体,在常温下导电能力很弱,但随着温度升高,导电能力又明显增强的原因。

4)“共价键”结构中产生本征激发的示意图(图3)

图3本征激发产生电子空穴对的示意图

B 杂质电离——产生电子或空穴——电子浓度n和空穴浓度p

1)施主杂质电离——产生电子

在纯净的半导体硅中,掺入少量的五族元素(如磷),它以替位形式占据一个硅原子的位置,由于它比硅原子多一个价电子,因此,在与周围4个硅原子组成共价键时,就有一个多余的价电子。它不受共价键的束缚,只受磷原子核正电荷的吸引,这种吸引力是很微弱的,因此,只要很小的能量就能使它克服引力而成为导电“电子”。而失去一个电子后的磷原子成为带正电的离子,但它处于共价键的稳定结构中,不能自由运动,因此,不是载流子。我们称施主杂质释放导电电子的过程,为施主电离。(请注意,这里只产生导电电子,不产生空穴)。

2)受主杂质电离——产生空穴

在纯净的半导体硅中,掺入少量的三族元素(如硼),它以替位形式占据一个硅原子的位置,由于它比硅原子少一个价电子,因此,在与周围4个硅原子组成共价键时,就要从周围硅原子的共价键中夺取一个价电子过来填充。这样,就在被夺取了一个电子的地方就产生了一个空穴。这个空穴不受共价键的束缚,只受硼离子负电荷的吸引,这种吸引力是很微弱的,因此,只要很小的能量就能使它克服引力而成为能导电的“空穴”。而硼原子由于多了一个电子而成为带负电的硼离子,但它同样也不能自由运动,因此,不是载流子。我们称受主杂质产生空穴的过程,为受主电离。(请注意,这里只产生空穴,不产生电子)。

3)示意图(图4)

图4a N型半导体中的施主杂质电离图4b P型半导体中的受主杂质电离

2载流子的运动——扩散和漂移  

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