芯片产品中的Burn in 测试方案分如下几个步骤:一, Burn-in测试方案与流程 根据产品的特性与需求,制定一套完整的BI测试方案 实现芯片所需验证到的功能,主要方案需求如下: 主要流程: ![]() 二,测试目的 建立标准化的Burn-in测试流程,通过施加高温和偏压应力,加速芯片内部潜在的缺陷(如氧化层缺陷、金属电迁移、接触不良等)失效。 ![]() 三,老化炉选型与硬件开发 小功耗芯片,使用总体控制温度的老化箱即可。 大功耗芯片,需要进行独立温控,在最接近芯片的附近增加温度传感器与加热棒。方便时时调整芯片的温度,满足结温要求。对老化炉的选择更加多样性。可以是老化炉,也可以是敞开式的老化设备。 箱式老化设备图一 硬件开发流程与大致周期: ![]() 四,主要老化方案 静态Burn in 只给芯片施加额定电压偏置,但不提供动态信号。常见最大额定工作电压的1.1 ~ 1.2倍。芯片内部电路不进行开关操作(常见于军工级的一道老化测试流程)。 如: 额定电压为1.8V的芯片,可施加1.98V进行Burn-in。 ![]() 动态功耗第一,二项必备, 三四项根据产品要求可选。 五,设备要求 ![]() 六,测试流程 ![]() ![]() ![]() ![]() 七,判断失效标准 终点测试中失效:任何电参数(如漏电流、驱动能力、功能)超出初始测试的规格范围。与初始测试值相比,参数漂移超过规定的百分比(如超过50%) 外观检查失效:封装出现任何物理损伤。 失效分析:所有失效芯片必须进行失效分析,使用显微镜、X-Ray、开封,SEM/EDS等技术定位失效点,确定失效模式(EOS/ESD、工艺缺陷、设计缺陷等),并反馈给设计和工艺部门。 八,可靠性数据计算 ![]() 九,注意事项 芯片的Burn-in是一个高度专业化和标准化的过程,是确保芯片交付高可靠性的关键步骤。Burn in方案需根据芯片的工艺、设计和应用场景进行参数细化。 |















