 01 什么是MEMSMEMS是Micro-Electro-Mechanical System的缩写，微电子机械系统。MEMS传感器感知环境中的各类自然信号，按一定规律将其转换成可检测量化的信号，对所得到的信号进行分析处理和识别判断，以实现智能型传感器的功能。 MEMS传感器和传统传感器相比，兼具体积小，重量轻，功耗低，一致性高，可靠性高，灵敏度高等优点。 传感器广泛应用于消费类和工业类电子领域，日常生活中的手机，可穿戴设备，以及汽车上，MEMS传感器都扮演着重要角色。物联网、自动驾驶、工业互联网都将是MEMS传感器发展的重要动力。 02 MEMS传感器工作原理 因为MEMS的微观特性，很难直观了解到其实际的工作情况，下面通过动图，直观“看”到主流MEMS传感器的工作原理。 ➤ 声学传感器  工作原理：声压导致振膜震动，振膜和背板之间的间距发生变化而产生电容变化，声压信号转变为了电信号。 应用：麦克风，TWS，超声波传感器... ➤ 压力传感器  工作原理：当受到压力时，电阻结构和底座的接触面积变化，电压也成比例变化，压力信号转变为电信号。 应用： 手机，GPS垂直高度测量定位... ➤加速度传感器  工作原理：物体产生加速度时，带动梳状结构产生位移，使梳状结构间电容改变，电容值和位移成比例变化，从而推算出加速度。 应用：电动汽车，游戏手柄，运动物体加速度测量... 03 MEMS芯片测试 对比传统芯片，MEMS芯片封测环节更为关键。元件成本95%以上是花费在封装测试中，对这部分进行优化和制作最精巧的MEMS结构一样重要。 MEMS测试要点 1对测量精度要求极为苛刻 测试MEMS传感器，需要模拟不同的环境变量变化实现全场景覆盖，从而会在繁多的测试条件下产生大量的测试数据，再将数据通过算法拟合反推外界变量的状态变化。能精准稳定的测量转换后的电阻电容频率值变化是判定MEMS传感器的准确度和灵敏度的前提条件。MEMS芯片测试机需能高精度测量电压电流，电容值，波形等信号。 2方案时效性要求高 MEMS芯片之间差异化程度高，即使是同类产品下，不同型号都意味着要构建新的测试算法。每一个测试项的制定和实施方案，都是设计端和测试端深度配合的过程。测试软件良好的用户体验无疑会让测试方案开发过程更流畅高效，保证时效性。 3成本管控 由于MEMS传感器市场分散，MEMS芯片产品开发周期和成本较通用IC芯片要压缩很多。能处理海量测试原始数据，在不同的算法规则下实时分析测试结果，对测试机资源容量，和运算处理能力要求都很高。 |
