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干货!MEMS培训讲义(内容非常全面)

时间:2016-11-29 10:56来源:ictest8.com 作者:ictest8_edit 点击:
共计11章节:
01-Introduction MEMS - A Toolbox for Miniaturization (Holden Li, NYTU)
02-Piezoresistive Sensors ‐Principles, Materials, Fabrication and Applications (Holden Li, NYTU)
03-Mechanics and Capacitive Sensors (Holden Li, NYTU)
04-Electrostatic Actuators (Holden Li, NYTU)
05-Thermal MEMS - Sensors and Actuators (Holden Li, NYTU)
06-Piezoelectric MEMS - Sensors and Actuators (Holden Li, NYTU)
07-MEMS Microfabrication - Introduction (Holden Li, NYTU)
08-MEMS Microfabrication - Bulk Micromachining (Holden Li, NYTU)
09-MEMS Microfabrication - Surface Micromachining (Holden Li, NYTU)
10-Packaging of MEMS (Holden Li, NYTU)
11-MEMS Testing and Reliability (Holden Li, NYTU)




















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