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并行测试技术

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发表于 2010-9-20 14:36:38 | 显示全部楼层

如果晶圆PAD的针痕都正常,open-short测试也都正常,那应该不是探针的问题,多个site同测要注意把每个site的地线也分开,不知你用的什么测试机,测试的什么类型的芯片,不同类型的芯片对探针的接触电阻的要求也不同,需要具体问题具体分析

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沙发
发表于 2010-10-9 10:05:09 | 显示全部楼层

这可能是和wafer表明不干净有关,另外,如果超净车间不好,也会有此现象

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